CM300xi with Loader是一款12英寸全自動(dòng)晶圓測量探針臺(tái)。性能參數(shù)完全繼承了CM300xi半自動(dòng)產(chǎn)品的特性??梢詰?yīng)用于低噪聲IV/CV、射頻微波RF/mmW、失效分析Failure Analysis 以及可靠性 WLR測量領(lǐng)域。CM300xi集成了諸多專利技術(shù),全球獨(dú)一無二的Contact Intelligence技術(shù)滿足極端復(fù)雜的環(huán)境測量挑戰(zhàn),如無人值守測量小尺寸Pad以及多個(gè)溫度下的測量。提供電磁屏蔽、光密和防凝露的測試環(huán)境,在所有的測量應(yīng)用領(lǐng)域均表現(xiàn)出無論倫比的杰出測量性能。配有晶圓處理單元,該單元可以在SEMI標(biāo)準(zhǔn)Wafer盒中配置多達(dá)50張8英寸或12英寸晶圓片。
FormFactor在射頻/微波測量領(lǐng)域首屈一指,有完整產(chǎn)品系解決方案,包括探針臺(tái)、射頻探針、針座、校準(zhǔn)片、校準(zhǔn)軟件以及戰(zhàn)略合作伙伴Keysight、VDI、OML、GORE等全球一流射頻微波測量領(lǐng)域的專家。在射頻微波領(lǐng)域可以完成1.1THz的晶圓、碎片、單粒以及封裝的射頻測量表征,同時(shí)也支持有源射頻功率器件的Load-Pull、Tunner測量以及信號(hào)完整性測試。WinCalXE校準(zhǔn)軟件功能十分強(qiáng)大,支持1、2、3和4端口校準(zhǔn)算法以及LRRM、LRM+、SOLT-LRRM,以及混合NIST風(fēng)格的Multi-Line的RL校準(zhǔn),以及用于數(shù)據(jù)比較和增強(qiáng)的錯(cuò)誤集管理能力,并且與Velox、Nucleus和ProberBench探測控制軟件兼容,實(shí)施變溫校準(zhǔn)與測量,極大地保障了測量的一致性與穩(wěn)定性。CM300xi with Loader一款可以滿足上述射頻性能的探針臺(tái)。