Summit 200-semi-atuomated是一款全球性能無論倫比的8英寸半自動晶圓測量探針臺,專為半導(dǎo)體器件研發(fā)、器件表征/建模、可靠性分析、量產(chǎn)測試而設(shè)計(jì),可用于低噪聲直流、射頻、毫米波和THz、硅光、MEMS等應(yīng)用領(lǐng)域的全溫范圍(-60℃-300℃)內(nèi)測量。Summit 200集成了諸多專利技術(shù),全球獨(dú)一無二的Contact Intelligence技術(shù)滿足極端復(fù)雜的環(huán)境測量挑戰(zhàn),如無人值守測量小尺寸Pad以及多個溫度下的測量。提供電磁屏蔽、光密和防凝露的測試環(huán)境,在所有的測量應(yīng)用領(lǐng)域均表現(xiàn)出無論倫比的杰出測量性能。Contact Intelligence能力,全球獨(dú)創(chuàng)的技術(shù),保證Probes與晶片高質(zhì)量的持續(xù)接觸。創(chuàng)新的系統(tǒng)設(shè)計(jì)和先進(jìn)的圖像處理技術(shù)相結(jié)合,提供了一個獨(dú)立于操作人員的解決方案,可以在任何時候?qū)崿F(xiàn)高度可靠的測量數(shù)據(jù)。采用PureLine技術(shù)實(shí)現(xiàn)了目前市場上最低的噪音水平。專利AttoGuard和MicroChamber技術(shù)顯著提高低漏電流能力和低電容測量能力。Summit 200產(chǎn)品的Summit 200-AP和Summit 200-M.滿足超低噪聲直流測量表征,TRIAX卡盤漏電最大分為別1fA和15fA.
FormFactor在射頻/微波測量領(lǐng)域首屈一指,有完整產(chǎn)品系解決方案,包括探針臺、射頻探針、針座、校準(zhǔn)片、校準(zhǔn)軟件以及戰(zhàn)略合作伙伴Keysight、VDI、OML、GORE等全球一流射頻微波測量領(lǐng)域的專家。在射頻微波領(lǐng)域可以完成1.1THz的晶圓、碎片、單粒以及封裝的射頻測量表征,同時也支持有源射頻功率器件的Load-Pull、Tunner測量以及信號完整性測試。WinCalXE校準(zhǔn)軟件功能十分強(qiáng)大,支持1、2、3和4端口校準(zhǔn)算法以及LRRM、LRM+、SOLT-LRRM,以及混合NIST風(fēng)格的Multi-Line的RL校準(zhǔn),以及用于數(shù)據(jù)比較和增強(qiáng)的錯誤集管理能力,并且與Velox、Nucleus和ProberBench探測控制軟件兼容,實(shí)施變溫校準(zhǔn)與測量,極大地保障了測量的一致性與穩(wěn)定性。Summit 200這一款可以滿足上述射頻性能的探針臺。